Сочинения деистов в конце XVII и в XVIII в. вызвали полемику со стороны ортодоксального христианства. Уильям Лоу (1686–1761) в трактатах «Серьезный призыв к усердной и святой жизни» и «Дело рассудка» доказывал, что человек не может постичь религиозные истины только с помощью разума потому, что Бог является Высшим разумом. Джозеф Батлер (1682–1752) в «Апологии религии» утверждал, что ортодоксальное христианство лучше отвечает на вопросы бытия, чем деизм. Уильям Пэйли (1743–1805) обосновывал существование Бога, который открыл себя в Библии, в Христе и в чудесах, дабы человек смог вести праведную жизнь и обрести спасение. Известный философ-идеалист Дэвид Юм (1711–1776) в «Диалогах о естественной религии» писал, что поскольку деисты принимают все, что может быть доказано с помощью разума, то наилучшим образом эту задачу может выполнить ортодоксальная теология. Ответом деизму явилась и субъективно-идеалистическая философия англиканского епископа Джорджа Беркли (1685–1753).

Несмотря на все нападки, деизм в первой половине XVIII в. быстро распространился по Европе. Герберт и Шефтсбери путешествовали по Франции, их книги были переведены и опубликованы там, и их идеи нашли отклик у французских энциклопедистов, которые также были деистами. Толанд и Вольтер пользовались признанием в Германии, что способствовало развитию немецкого деизма. Его виднейшими представителями были Г. С. Реймарус (1694–1768) и Г. Э. Лессинг (1729–1781). Наконец, философия деизма распространилась в североамериканских колониях.

Деизм сыграл огромную роль в становлении менталитета современного человека. С его помощью было разработано учение о государстве, ответственном перед суверенным народом, о природной праведности и доброте человека и неограниченных возможностях его разума, что помогло созданию теории прогресса, о воспитании разумного и деятельного члена общества. Деизм позволил человеческой мысли сделать следующий шаг в отношении к Богу: отвергнуть Его вовсе. Именно в XVII–XVIII вв. появляются первые серьезные обоснования атеистического взгляда на мир — сочинения английского философа Томаса Гоббса, французского священника Жана Мелье; к атеизму был близок и Вольтер.

В то же время деизм оказал и некоторое положительное влияние на развитие христианского мировоззрения. Разумный подход к миру рассеял веру в ведовство и тайные общения с дьяволом. В первой половине XVII в. ведовские процессы проходили еще по всей Европе. Люди серьезно верили, что многие женщины и некоторые мужчины заключили договор с дьяволом и посещают его шабаши, перелетая с помощью помела или черного козла. На этих шабашах (от еврейского «шаббат» — суббота) они творят черную мессу, поклоняются самому сатане и участвуют в сексуальных оргиях. В обычной жизни они могут наслать порчу на людей или на скот, вызвать болезни, эпидемии, неурожай. По доносу подозреваемых в ведовстве хватали, под пытками вынуждали их признаться в своей связи с дьяволом, а затем отправляли на костер. Такие жестокости творили и католики, и последователи разного рода протестантских конфессий. И только в конце XVII в. под влиянием научных теорий и рационалистического подхода к религии ведовские процессы прекратились и сама вера в ведовство стала затухать.